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计算全息配合数字移相干涉仪进行非球面检测的研究

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将计算全息(Computer-Generated Hologram，CGH)作为波面发生器引入数字移相干涉仪中，以实现非球面型的快速、高精度检验。详细介绍了CGH的设计方法、加工过程以及配合干涉仪对非球面进行检测的实验步骤。对CGH位相分布求取、载频选取、CGH与干涉仪配合校准所涉及的关键问题展开了讨论，并提出了一些全新的设计理念和方法。从理论上定量分析了CGH片基面型误差、全息图样偏差、刻蚀深度不均匀性和线宽不均匀性对再现波面的影响，得出了相应的误差公式。利用设计的测量系统对一个二次抛物反射面进行了实际测量，测量精度达到λ/12。

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来源
《第五届博士生学术年会》|2007年|655-661|共7页
会议地点长春
作者
康果果; 谢敬辉; 刘祎;
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作者单位

中国科学技术协会;

国务院学位办;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TH744.3;TP206.1;
关键词
光学检测; 二元光学元件; 菲涅耳波带板; 非球面反射镜; 数字移相; 干涉仪; 计算全息;

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