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低压直流辉光等离子体的放电特性

摘要

研究了氮气低气压直流辉光放电等离子体在不同压强下的放电特性。用langmuir双探针测量等离子体中电子温度,并研究放电管中不同位置的电子温度及放电功率等因素对其的影响。

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