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焦磷酸盐镀铜层表面镀瘤的去除研究

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摘要

在日常生产过程中,焦磷酸盐镀铜层表面经常会出现微小的镀瘤,这些微小的镀瘤在普通的显微镜下极难观察到,其形状为不规则的半圆球形及半椭球形,尺寸约为直径10μm左右.本文对镀瘤产生的原因进行了研究,并给出了解决方法.

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来源
《中国电子学会真空电子学分会第十九届学术年会》|2013年|851-853|共3页
会议地点黄山
作者
刘洋; 张慧;
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作者单位

中国电子学会真空电子学分会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TQ153.14;
关键词
焦磷酸盐; 镀铜层; 表面镀瘤; 化学抛光; 工艺流程;

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