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大过载真空计结构优化设计

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实时监测管路中真空度的真空计,采用电容器原理.但是,每隔固定时间,系统会途经该管路向真空环境瞬时释放压强为100kPa左右的气团,使真空计承受近1000倍的冲击过载,导致真空计电容薄膜电极产生塑性变形,发生失效.根据动量定理,在真空计的气体输入端增设阻尼管及一定体积的容腔,延缓气团冲击电容薄膜电极的时间,达到保护电容薄膜电极的目的.通过有限元仿真分析,初步确定阻尼片的排列方式及阻尼孔的分布,并将优化后的真空计在真空测试装置中进行模拟试验,验证结构优化的有效性,并得到阻尼片的最优排列及与之匹配的容腔体积.

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来源
《第十四届全国敏感元件与传感器学术会议》|2016年|470-474|共5页
会议地点成都
作者
Cui Hongmin; 崔宏敏; Yu Derun; 于德润; Chen Baocheng; 陈宝成; Zong Yizhong; 宗义仲;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

中国电子学会;

中国航空学会;

中国生物工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类真空计（全压测量）;
关键词
电容式真空计; 结构优化; 阻尼片; 容腔体积; 有限元仿真;

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