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基于不确定度分析的CMF结构参数对灵敏度的影响

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科氏质量流量传感器的结构参数设计在提高其测量性能中起到重要的作用.但由于制造误差的存在,科氏质量流量传感器的结构参数并不能精确获得,存在一定的不确定性.基于科氏质量流量传感器敏感结构设计原理,结合不确定度分析方法,分析了各结构尺寸对敏感结构检测灵敏度的影响.建立基于样本的随机模型在考虑加工尺寸误差的同时,评估了小口径科氏质量流量传感器结构参数对检测灵敏度的相对影响大小并进行比较,从而获得了对传感器性能起关键作用的影响因素.以上的结构可以为相应传感器敏感结构设计与优化提供参考.

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来源
《第十四届全国敏感元件与传感器学术会议》|2016年|769-774|共6页
会议地点成都
作者
Feng Dan; 冯丹; Fan Shangchun; 樊尚春; Zheng Dezhi; 郑德智;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

中国电子学会;

中国航空学会;

中国生物工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP212.1;
关键词
科氏质量流量传感器; 结构参数; 灵敏度; 不确定度分析;

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