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基于白光扫描干涉术的超精密表面几何参数大范围快速测量方法

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随着先进制造技术的不断发展,白光扫描干涉术在产业界的应用日益广泛,测试效率和测试范围的矛盾逐步显现.目前针对大范围测量问题,产业界给出的方案是通过拼接技术实现,相邻测量间的重叠范围约为20％左右.然而,这种方法所带来的额外时间开销是显而易见的,特别是在晶片测量和光学表面测量时.本项目正是针对这一问题,从大范围测量理论和测试系统开发两方面展开研究,在提出大范围测量新方法的同时开发高性能的白光干涉测量系统.

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来源
《第十二届设计与制造前沿国际会议（ICFDM2016）》|2016年|442|共1页
会议地点沈阳
作者
马龙;
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作者单位

国家自然科学基金委员会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类数据处理、数据处理系统;
关键词
几何参数; 自动化测量; 白光扫描干涉术;

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