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具有曲率突变特征的三维微纳结构多隧道电流耦合探针显微超精密测量基础技术研究

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具有曲率突变特征微纳结构的三维结构尺寸、三维形状、三维位置等直接影响现代微纳器件的驱动力、频率范围、灵敏度和效率等多项性能指标,对其进行超精密测量是保障器件加工质量的前提.本项目开展了纳米精度三维坐标测量、空间轨迹跟踪测量、阵列扫描描测量、纳米精度多维定位监测等新原理和新方法的研究,研制出测量装置,并与单点金刚石车床结合使用实现了复杂微纳结构的超精密在位测量.

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来源
《第十二届设计与制造前沿国际会议（ICFDM2016）》|2016年|463|共1页
会议地点沈阳
作者
居冰峰;
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作者单位

国家自然科学基金委员会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类结构试验与检验;
关键词
微纳结构; 曲率突变特征; 显微测量; 电流耦合;

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