首页> 中文会议>第十二届设计与制造前沿国际会议(ICFDM2016) >多孔质节流器渗透率空间分布性对气体静压轴承静态性能影响的研究

多孔质节流器渗透率空间分布性对气体静压轴承静态性能影响的研究

摘要

气体静压轴承是超精密加工装备的重要组成元件,多孔质气体轴承因其较高的承载能力和刚度得到了广泛应用.用于制造节流器的多孔材料渗透率及空间分布变化的随机性限制了其在气体轴承中的应用.本项目旨在研究多孔质节流器渗透率空间分布对气体轴承静态性能影响规律.本项目的研究成果将为超精密加工装备中高精度气体轴承的设计制造提供理论指导,并可推广应用于精密仪器、微电子、航空航天等国民经济重要领域.

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