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钝化层温度对液晶屏氧化物TFT特性和可靠性影响的研究

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摘要

TFT器件特性和可靠性对于金属氧化物LCD产品至关重要.本文通过研究ESL结构TFT钝化层的沉积温度对于器件特性和高温高湿可靠性的影响,旨在获得晶体管器件电学特性和高温高湿可靠性均良好的产品.研究表明,高温沉积的钝化层有利于改善产品高温高湿的可靠性,高温沉积钝化层会使TFT转移特性曲线正偏,但是过高的钝化层沉积温度会使TFT转移特性曲线再次负偏,同时TFT转移特性曲线均一性会变差,因此,需要良好的把握钝化层的成膜温度才能获得电学特性和可靠性均良好的产品.本文钝化层采用260°C成膜,最终得到了高温高湿可靠性良好的产品.

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来源
《2018中国显示学术会议》|2018年|382-386|共5页
会议地点西安
作者
CHI Xiao; 迟霄; WU Tianyi; 吴天一; XIA Xingda; 夏兴达; FU Jujian; 符鞠建; HE Zeshang; 何泽尚;
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作者单位

中国物理学会;

中国光学光电子行业协会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN873.93;
关键词
液晶显示屏; 钝化层温度; 氧化物; 电学特性; 可靠性能;

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