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微纳尺寸台阶高度样块的质量参数评价

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论述了微纳尺寸台阶高度样块的应用及质量参数的基本要求,以白光干涉仪作为核心仪器研究了主要质量参数的评价方法.以某标称高度为5.μm和10μ.m的台阶高度样块为例进行了各项质量参数的测量,将其测量数据同VLSI标称高度值为8.0μm的标准样块的各项质量参数数据进行比对.结合实验数据,对影响质量参数的相关因素进行了分析,阐述了相应的解决办法.分析结果表明本文所述方法适用于微纳尺寸台阶高度样块的质量参数评价.

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来源
《2016计量测试技术交流会》|2016年|29-32|共4页
会议地点昆明
作者
许晓青; 李锁印; 冯亚南; 赵新宇;
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作者单位

中航工业第304研究所;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类几何量计量;
关键词
台阶高度; 质量参数; 白光干涉仪;

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