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大尺寸基板平面度误差检测及数据快速处理方法

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首先针对神光-Ⅲ主机装置激光参数测量装置中批量加工及使用大尺寸基板的工程实际情况提出了大尺寸基板工作面的平面度误差测量方法,而后在对角线法计算平面度误差原理的基础上,运用Excel软件中的数学函数公式和图表处理模块编译平面度误差检测数据快速处理程序,囊括了测量点的输入、格值变线值、点偏移旋转计算和合格性判定,界面简单、清晰、直观,且易操作,提高了检测人员的后续数据处理工作效率,为系统的装调实现建立基础,极大地提高生产效率,满足批量化生产装校设计和工艺技术要求,而且还可以通过三维折线图和圆锥图直观化地显示基板测量点的高低位置和相对大小,为生产加工人员对基板表面的修研提出指导性意见.

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来源
《2016计量测试技术交流会》|2016年|37-40|共4页
会议地点昆明
作者
付西红; 陈生辉; 马娜娜; 李硕; 刘杰;
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作者单位

中航工业第304研究所;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类几何量计量;
关键词
大尺寸基板; 平面度; 误差检测; 数据处理;

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专利

1. 大尺寸基板平面度误差检测及数据快速处理方法 [J] . 付西红 ,陈生辉 ,马娜娜 . 计测技术 . 2016,第S1期
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5. 平面度误差检测中对角线布点的测量数据转换 [J] . 过大江 ,高建平 . 江南大学学报：自然科学版 . 1993,第004期
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