• 主题
高级搜索  >
历史搜索 清空历史
首页> 中文会议>2013年广东省真空学会学术年会 >一种下限为1.3×10-14Pam3/s的真空漏孔校准装置

一种下限为1.3×10-14Pam3/s的真空漏孔校准装置

页面导航
  • 摘要
  • 著录项
  • 相似文献
  • 相关主题

摘要

为了解决漏率小于10-12Pam3/s漏孔的校准问题,提出累积法与固定流导法相结合的方法,研制出下限可达10-14Pam3/s量级的校准装置.装置主要由累积比较系统和固定流导法流量计组成,采用四极质谱计(QMS)作为比较器测量示漏气体(He气),通过静态累积的方法解决了质谱分析室中示漏气体分压力测量问题;通过激光打孔和多次镀膜的方法获得10-10m3/s量级的分子流导,用消气剂泵将真空室本底压力维持在10-7Pa量级,使磁悬浮转子真空计(SRG)对固定流导元件入口气体(He气)压力的测量下限可达10-4Pa,获得下限为1.3×10-14Pam3/s的标准气体流量(He气).研究结果表明,装置的校准范围为10-12～1.3×10-14Pam3/s(He气),合成标准不确定度为5.2％～5.8％.

著录项

相似文献

  • 中文文献
  • 外文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

  • 客服微信

  • 服务号