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氩氧比例对TiO2薄膜结构及光学性能影响

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在不同氩氧比下,采用中频磁控溅射制备TiO2薄膜.利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和可见光光度计分别测试了TiO2薄膜的晶体结构、表面成分及形貌和可见光透射谱.结果表明:在100℃的低温条件下,不同氩氧比例的TiO2薄膜都是非晶结构,薄膜表面平滑致密,当氧氩流速比超过3∶1后,薄膜成分接近于化学配比的TiO2,薄膜的光学性能好,透射比较高,超过80％.

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来源
《2013年广东省真空学会学术年会》|2013年|42-45|共4页
会议地点珠海
作者
邓志雄; 苏东艺; 贺祖发; 彭继华;
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作者单位

广东省真空学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类特种结构材料;
关键词
二氧化钛薄膜; 中频磁控溅射; 氩氧比; 晶体结构; 表面成分; 形貌特征; 可见光透射谱;

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