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用于塑料件低温沉积装饰膜的离子镀新技术

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研发出阴极柱状电弧建立可控有限长度弧斑区、和弧斑区整体移动方向与速度的可控的新技术,大幅降低了电弧辐射热和以镀件间歇受热镀膜方式,实现了低温沉积.开发了大靶管大功率远靶/基距低温磁控溅射技术,可低于100度下沉积均匀优质镀层.上述两种新技术解决了长期以来在塑料件上离子镀膜变形的难题.

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来源
《2013年广东省真空学会学术年会》|2013年|69-73|共5页
会议地点珠海
作者
李志荣; 盛钢; 罗志明; 李志方; 袁镇海;
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作者单位

广东省真空学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类非金属材料的电镀;
关键词
塑料件; 离子镀膜; 真空阴极电弧; 低温沉积技术;

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