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一种新型高能高压脉冲偏压电源电路介绍

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本文阐述了一种高能高压脉冲电源电路,特别适用于高功率高电压窄脉冲(占空比为0-10％)输出的电源.本电路，避开了传统的输出整流电路，大大提高了电源的可靠性，并很好地改善输出波形。这类电源可以配合离子源、弧源做高压脉冲清洗、轰击，可以配合弧源做偏压电源镀膜；变恒压为恒流／恒功率工作模式也可以用于高能脉冲镀膜。

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来源
《2013年广东省真空学会学术年会》|2013年|97-99|共3页
会议地点珠海
作者
梁兆光;
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作者单位

广东省真空学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN710.3;
关键词
高能高压脉冲电源电路; 可靠性; 输出波形; 工作模式;

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