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G6玻璃基板半成品工序玻璃粉的对策初探

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利用硬度高于玻璃的刀轮,通过施加一定的压力、速度、下压量,在玻璃表面划出切割线,从而在玻璃上产生良性的线状微裂纹,当微裂纹的扩展达到一定的程度,便可以实现玻璃的良性分离.切割时,刀轮切入玻璃中约2-5um的深度,在刀轮下方形成5-10um的切割深度.这一深度是刀轮切割玻璃表面时所形成微裂纹端部的曲率半径.裂片过程中垂直裂纹纵向贯穿整个玻璃,使玻璃断裂.横向裂纹在裂片过程中沿不良表面横向扩展,形成玻璃屑.

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来源
《2016中国平板显示学术会议》|2016年|1100-1107|共8页
会议地点合肥
作者
YANG Zhi Guang; 杨志光; Meng Zhao Xiong; 孟昭雄; LI Wei Jun; 李文军; Hai Hong; 李海洪; LI;
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作者单位

中国真空学会;

中国物理学会;

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TQ171.683;
关键词
玻璃基板; 切割工艺; 横向裂纹; 曲率半径;

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