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残留气体分析器在半导体生产尾气处理中的应用

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本文阐述了残留气体分析器在半导体生产中对于尾气处理中是如何应用的.重要分为RGA的基本原理,RGA在半导体生产的尾气处理中的应用和原理分析,以及应用RGA检测尾气处理的效率.

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来源
《第三十届中国（天津）2016IT、网络、信息技术、电子、仪器仪表创新学术会议》|2016年|265-268|共4页
会议地点天津
作者
Xue Han; 韩雪;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

中国电子学会;

天津市仪器仪表学会;

天津市电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类机械、仪表工业废物处理与综合利用;废气的处理与利用;
关键词
半导体器件; 制造过程; 尾气处理; 残留气体分析器;

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