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太赫兹量子阱探测器的能带、输运及光耦合研究

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太赫兹量子阱探测器(THz QWP)是一种基于半导体低维结构的光子型探测器,其原理与中红外波段的量子阱探测器类似.与其它种类的太赫兹探测器相比,THz QWP具有响应速度快、体积小、寿命长、稳定性高和工艺成熟等优点,特别适合于太赫兹波段的高速探测与成像应用.开发高性能的THz QWP对太赫兹技术应用于在线环境监测、实时成像和无线通信等领域具有重要意义.在THz QWP中，由于电子掺杂浓度低，导致探测器的量子吸收效率低，大大限制了探测的响应率和探测灵敏度，本文充分考虑了THz QWP的器件厚度小于探测光的波长的特点，设计了两种光耦合结构:金属微腔耦合器和表面等离激元耦合器。研究的计算结果表明这两种耦合器能够大幅度提高器件的量子吸收效率(30-100倍)，能够提高THz QWP的探测灵敏度和工作温度。

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来源
《第十届全国分子束外延学术会议》|2013年|105|共1页
会议地点上海
作者
郭旭光; 曹俊诚; 张戎; 谭智勇; 刘惠春;
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作者单位

中国电子学会;

中国有色金属学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类半导体器件制造工艺及设备;
关键词
半导体器件; 太赫兹量子阱探测器; 光耦合结构; 灵敏度;

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