去除吸附氦试验及相关标准分析

摘要

文章介绍了两种典型密封样品的去除吸附氦试验,漏率测是在InficonInficon InficonInficon公司Pernicka 700H型积累氦质谱粗漏细组合检仪上进行的,给出了试验数据拟合模式和结果,进而分析了MIL-STD-750-1/883J氦质谱检漏方法在降低被检件吸附氦漏率方面的不可行性,并综合分析了这两项标准的其他问题,提出了全面改进的方案.

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