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有腐蚀性物料的真空系统真空规选用探讨

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摘要

正确测量真空参数的关键环节是选择合适的真空规.有腐蚀性物料的真空系统对真空规的选用有特殊要求,因此对该条件下真空规的选用进行分析探讨是十分必要的.本文对各种真空规的原理、适用范围、误差等进行归纳,结合实际针对有腐蚀性物料的真空系统选用真空规进行了探讨.

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来源
《中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会》|2013年|244-248|共5页
会议地点天津
作者
赫梓宇; 李德鑫;
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作者单位

中国真空学会;

中国计量测试学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类真空测试技术;
关键词
真空系统; 参数测量; 真空规; 选用原则; 腐蚀性物料;

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