冷阴极电离真空计校准方法研究

著录项

• 来源
  《中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会》|2013年|268-273|共6页
• 会议地点 天津
• 作者

  LIU Jia-tong; 刘珈彤; Feng Yan; 冯焱; ZhaoLan; 赵澜; LI Li; 李莉; Ma Ben; 马奔; LIU Ci-xian; 刘赐贤;

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• 作者单位

  中国真空学会;

  中国计量测试学会;

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• 会议组织
• 正文语种
• 原文格式 PDF
• 中图分类 真空计（全压测量）;
• 关键词

  冷阴极电离真空计; 校准机理; 测量准确度; 结构分析;