真空设备真空温度检测的自动化实现

著录项

• 来源
  《中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会》|2013年|292-296|共5页
• 会议地点 天津
• 作者

  Tian Hulin; 田虎林; Wang Huan; 王欢; Dong Yibo; 董怿博; Fu Wenshuai; 付文帅; Li Tong; 李彤; Wei Mengmeng; 魏萌萌;

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• 作者单位

  中国真空学会;

  中国计量测试学会;

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• 会议组织
• 正文语种
• 原文格式 PDF
• 中图分类 各种试验设备和仪器;
• 关键词

  航空航天; 真空设备; 真空温度; 检测自动化;