首页> 中文会议>中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会 >比较法真空标准漏孔校准方法研究

比较法真空标准漏孔校准方法研究

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

比较法校准真空标准漏孔是通过四极质谱计比较气体流量计提供的标准气体流量与被校真空标准漏孔产生的离子流获得校准值.主要介绍了比较法真空标准漏孔的校准方法、装置原理、校准过程及校准结果的处理等,并提出了减小测量不确定度的影响因素.

著录项

来源
《中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会》|2013年|302-307|共6页
会议地点天津
作者
ZHAO Lan; 赵澜; FENG Yan; 冯焱; CHENG Yongjun; 成永军; ZHANG Dixin; 张涤新; YANG Changqing; 杨长青; LI Li; 李莉; Xue Jie; 徐婕;
展开▼
作者单位

中国真空学会;

中国计量测试学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类真空检漏与仪器;
关键词
真空标准漏孔; 比较法; 校准机理; 测量不确定度;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 比较法真空标准漏孔校准方法研究 [J] . 赵澜 ,冯焱 ,成永军 . 真空与低温 . 2013,第004期
2. 固定流导法校准真空漏孔方法研究 [J] . 李得天 ,郭美如 ,冯焱 . 真空与低温 . 2005,第004期
3. 比较法正压漏孔校准结果的不确定度评定 [J] . 张瑞芳 ,张涤新 ,赵澜 . 真空与低温 . 2015,第006期
4. 动态比较法校准正压漏孔的漏率 [J] . 孟扬 ,张涤新 . 中国空间科学技术 . 1998,第004期
5. 分流法真空漏孔校准装置不确定度的评定 [J] . 查永康 ,赵澜 . 真空与低温 . 2018,第006期
6. 静态累积比较法真空标准漏孔校准方法研究 [C] . 赵澜 ,成永军 ,吉康 . 中国计量测试学会真空计量专业委员会第十四届年会暨中国航天科技集团公司五院科技委真空与低温专业组学术年会 . 2016
7. 标准漏孔校准装置的研究与应用 [A] . 杨新民 . 2007

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号