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分流法极高真空电离计校准系数测量不确定度评定方法研究

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摘要

通过对分流法极高真空电离计校准系数的测量不确定度分量分析,建立了校准结果测量不确定度评定的数学模型,确定各分量对结果的贡献及其灵敏度系数,分别对标准压力引入的不确定度分量、气体微流量计引入的不确定度分量、被校极高真空电离计示值以及本底波动引入的不确定度分量进行了评定.并利用该评定方法对1支分离规进行了校准系数的测量不确定度评定,其扩展不确定度为5.2%,能够满足极高真空电离计校准的需要.

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来源
《中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会》|2013年|314-320|共7页
会议地点天津
作者
Xi Zhenhua; 习振华; Cheng Yongjun; 成永军; Feng Yan; 冯焱; 赵澜;
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作者单位

中国真空学会;

中国计量测试学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类真空计（全压测量）;
关键词
极高真空电离计; 分流法; 校准系数; 测量不确定度; 评定方法;

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