压降法检漏仪的现场相对校准

著录项

• 来源
  《中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会》|2013年|326-329|共4页
• 会议地点 天津
• 作者

  史纪军; 郭海涛; 赵建超; 齐飞飞; 汪力;

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• 作者单位

  中国真空学会;

  中国计量测试学会;

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• 会议组织
• 正文语种
• 原文格式 PDF
• 中图分类 真空检漏与仪器;
• 关键词

  压降法检漏仪; 现场相对校准; 静态升压法; 漏率单位;