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温度对电容薄膜真空计测量影响的实验研究

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采用了一支满量程为1333Pa的绝压式电容薄膜真空计,在金属膨胀式真空标准装置上对其进行温度变化的影响实验研究,包括在开和未开控制单元的规管恒温和温度补偿功能两种情况下环境温度变化的实验,并在实验过程中记录了电容薄膜真空计的零点漂移情况.其中,在打开控制单元的规管恒温和温度补偿功能的条件下,电容薄膜真空计测量准确度非常好.而在未打开控制单元的规管恒温和温度补偿功能的条件下,在10-2～10-1Pa两个量级上电容薄膜真空计的示值与标准值有较大偏差,最大偏差为36%:而在1～102Pa量级上电容薄膜真空计测量准确度也非常好.

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来源
《中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会》|2013年|263-267|共5页
会议地点天津
作者
MA Ben; 马奔; FENG Yan; 冯焱; SUN Wen-jun; 孙雯君; DONG Meng; 董猛; LIU Jia-tong; 刘珈彤; GUAN Bao-guo; 管保国;
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作者单位

中国真空学会;

中国计量测试学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类真空计（全压测量）;
关键词
电容薄膜真空计; 测量准确度; 零点稳定性; 环境温度;

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