碳纳米管阴极电离规的数值模拟研究

摘要

本文基于IE514分离规结构,建立了碳纳米管阴极电离规物理模型,根据电离规标准方程,利用离子光学模拟软件SIMION8.O分别研究了电极电压对灵敏度和lgrid/le的影响.结果表明,随着阳极/门极电压比值增大(Vgrid/Vgate),lgrid/le也将增大,然而,当阳极电压增大时,会导致灵敏度降低,进而影响真空测量下限的延伸,该模拟结果与相关文献报道的实验结果符合性很好.此研究中新型CNT阴极的应用为解决极高真空测量难题提供了重要途径.

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