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朋汉林; 徐宏玮; 林礼煌; 冷雨欣; 帅斌; 李儒新;
中国高等科学技术中心;
中科院上海光学精密机械研究所;
剪切干涉; CPA激光系统; 哈特曼测量方法; 测量装置;
机译:单次波前感应发散循环径向剪切干涉测量
机译:使用横向剪切干涉测量法的二维波前检索
机译:基于B样条的波前重建,用于工程表面横向剪切干涉测量
机译:具有横向剪切干涉测量学的周期延伸的FFT波前重建算法
机译:具有不稳定滤波器动态特性的双环路sigma-delta调制器:稳定性分析和音调特性。
机译:波前测量和硬X射线纳米封膜镜的波前测量和校正的X射线单光干涉测量
机译:高NA EUV波前计量的侧剪剪切干涉测量
机译:剪切,散焦和波前误差对卡西尼复合红外光谱仪理论性能的影响
机译:用于测量光成像系统以量化其质量的波前的剪切干涉测量系统,所述系统具有用于抑制不想要的较高衍射级的滤波器
机译:干涉测量装置,波前像差测量装置,形状测量装置,曝光装置,干涉测量方法,投影光学系统制造方法和曝光装置制造方法
机译:剪切干涉测量方法和剪切干涉仪,投影光学系统的制造方法,投影光学系统以及投影曝光装置
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