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微型非蒸散吸气剂泵的研制及其在电真空器件生产中的应用

摘要

本文参考常规吸气剂泵的基本结构,利用非蒸散型吸气材料的特点,设计并制作了可应用于电真空器件排气封离后真空度维持的微型吸气剂泵.

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