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低温生长ITO薄膜的厚度与电阻和透光度的关系研究

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本研究利用低温磁控溅射技术来制备不同厚度的ITO导电膜层,膜层厚度影响着导电膜层的光、电学性质.本研究探索和分析了ITO导电膜层厚度与透光率和电阻值两个相互矛盾的指标之间的关系.在一定范围内,随着膜层厚度的增加透光率和电阻阻值随之降低.在厚度为319.8nm时得到了实验电阻和透光度的较好值电阻19.5Ω,透光度为75.7％.

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来源
《2017年全国玻璃科学技术年会》|2017年|260-262|共3页
会议地点秦皇岛
作者
HAN Yu-jie; 韩钰杰; WU Yun-long; 吴云龙; GUO Shi-chang; 郭世昌; MAO Chun-ru; 毛春茹;
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作者单位

中国硅酸盐学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类功能材料;
关键词
透明导电薄膜; 低温磁控溅射; 膜层厚度; 电阻性能; 透光度;

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