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制备参数对高场阳极氧化所形成铝凹坑阵列几何参数的影响

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从实验上研究了阳极氧化参数(阳极氧化电压及时间)对所形成的铝凹坑阵列几何参数(周期、深度和纵横比)的影响.结果表明,通过调控阳极氧化电压和时间,可在一定范围内对铝凹坑阵列的周期、深度以及纵横比进行调控.铝凹坑阵列的周期随氧化电压的增大呈现线性增大的趋势,但其深度和纵横比则呈现先增大后减小的非单调变化趋势;随氧化时间的增大,铝凹坑阵列周期呈现微弱线性增大的趋势,而其深度和纵横比则呈现线性减小的趋势.其研究结果将为研究铝凹坑阵列自身的光学特性及其在相关领域的应用提供技术参数。

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来源
《陕西省物理学会2017学术年会》|2017年|1-5|共5页
会议地点西安
作者
訾春燕; ZI Chunyan; HUANG Liqing; 黄丽清; ZHANG Weiwei; 张薇薇; ZHOU Xueyuan; 周雪原; CAI Yakun; 蔡亚坤; ZHANG Yu; 张宇; SHANG Fuqiang; 商富强;
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作者单位

陕西省物理学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TB342:TB303;
关键词
铝凹坑阵列; 几何参数; 阳极氧化; 光学特性;

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