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物理气相沉积硬质涂层材料、工艺及应用研究

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现代硬质涂层的发展趋于多元化、纳米化和多层化,如在TiN、CrN等涂层里加入一些C、Al、Zr等元素形成固溶强化涂层,提高涂层的硬度、耐磨性和抗氧化性;加入Si、B元素在涂层中生成包含纳米相和非晶相的纳米复合涂层,如Me-Si-N(Me=Ti,TiAl等);或者制备纳米层状或超晶格涂层,如TiN/AlN纳米多层涂层等;通过梯度或多层的涂层设计提高涂层对基体的结合力、涂层韧性和抗裂纹扩展能力,实现各层所具有的复合功能等.伴随涂层材料的发展,新型涂层技术层出不穷,电弧离子镀、磁控溅射技术是刀具涂层的主流技术,高功率脉冲磁控溅射技术和复合离子镀技术在刀具涂层制备方面显示出性能优势.

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来源
《粤港澳大湾区真空科技与宽禁带半导体应用高峰论坛暨2017年广东省真空学会学术年会》|2017年|18-19|共2页
会议地点广东惠州
作者
王启民;
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作者单位

广东省科协广东省真空学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TG71:TG706;
关键词
刀具制造; 硬质涂层; 电弧离子镀; 磁控溅射;

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