首页> 中文会议>粤港澳大湾区真空科技与宽禁带半导体应用高峰论坛暨2017年广东省真空学会学术年会 >干泵在真空镀膜中的应用

干泵在真空镀膜中的应用

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

真空泵是一个量大面广的产品,产量很大,产值不高,但它确实是一个直接影响到真空成套设备性能质量的必不可少的基础产品.真空泵的市场根据用户的需要而发生动态变化.目前,真空行业使用的大多数机械真空泵基本上都要用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质,在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用.然而,此类机械真空泵内的流体介质也对制程产生了一定的制约,干泵需求应运而生.市场增长的主要驱动力来自于半导体工业的迅速发展以及干泵和分子泵应用领域的日益扩大.

著录项

来源
《粤港澳大湾区真空科技与宽禁带半导体应用高峰论坛暨2017年广东省真空学会学术年会》|2017年|52-53|共2页
会议地点广东惠州
作者
廖慧林;
展开▼
作者单位

广东省科协广东省真空学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类真空泵;
关键词
真空镀膜; 干泵; 优化设计;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 干气密封在气分装置液态烃泵中的应用 [J] . 赵连元 . 石油和化工设备 . 2021,第010期
2. 干式爪型真空泵在氯化氢气体输送系统中的应用 [J] . 刘晓明 ,陈欣 . 氯碱工业 . 2020,第007期
3. 干气密封在溶剂脱沥青装置溶剂泵中的应用 [J] . 方斌 . 石油化工技术与经济 . 2018,第002期
4. 干式真空泵在炼油厂装置中的应用 [J] . 李彬 ,李会元 ,延敬祥 . 石油和化工设备 . 2018,第008期
5. 干气密封在溶剂脱沥青装置溶剂泵中的应用 [J] . 方斌 . 石油化工技术与经济 . 2018,第002期
6. 低温泵在真空镀膜上应用研究 [C] . 陈家富 . 第七届华东三省一市真空学术交流会 . 2011
7. Hilbert-Huang变换在干式真空泵故障诊断中的应用研究 [A] . 李刚 . 2008

干泵在真空镀膜中的应用

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅