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环扫电镜裙散效应的影响机理分析

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针对环境扫描电镜(ESEM)表征过程中出现的裙散效应,研究了能谱分析时非分析区域产生的干扰元素含量在不同条件下的变化规律,结果表明干扰元素含量与离能谱分析点的间隔距离呈幂函数衰减,与散射电子运动规律一致,可为能谱分析排除干扰元素提供依据.根据相关文献报道的裙散半径经验公式,分别分析了加速电压和腔室气压对裙散效应的影响,结果表明改变加速电压对裙散效应的影响更大,同时,研究还发现电子束散射范围远大于裙散半径,分析认为是材料内部累积电子对电子束进一步产生排斥作用,使得散射范围进一步扩大,以上研究结果对于ESEM应用领域具有一定的参考价值.

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来源
《四川省电子学会电子测量与仪器专委会第十八届电子测试与测量技术专题学术年会》|2017年|356-360|共5页
会议地点昆明
作者
梁栋程; 刘云婷; 何志刚; 王淑杰;
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作者单位

四川省电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN16:TN101;
关键词
环境扫描电镜; 裙散效应; 加速电压; 腔室气压; 散射范围;

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