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热循环条件下Ni-P/Ti/DLC复合薄膜的承载特性研究

摘要

笔者提出以模具钢为基体,依次镀上一定厚度的高镍磷(Ni-P)超精密车削层、钛(Ti)过渡层、类金刚石碳(DLC)膜保护层,从而在模具钢基体表面形成Ni-P/Ti/DLC复合薄膜,以此来制备模具模芯。其中Ni-P层可通过超精密车削获得高面型精度和低表面粗糙度的光学镜面面型,DLC膜具有高硬度、起保护作用,而Ti层则起提高膜基结合力、降低残余应力的作用。本文在此基础上,以瑞典胜百S136模具钢为基体材料,制备了Ni-P层、Ti层及DLC膜层厚度分别为300um, 0.3um, 2um的复合薄膜,并采用纳米压痕法和拉曼光谱对其承载特性进行了研究,为Ni-P/Ti/DLC复合薄膜的应用及高精度光学模具模芯的制备提供了研究基础。

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