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SEM云纹法在金属薄膜导线残余变形测量中的应用

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本文发展了聚焦离子束在康铜线表面制作微米光栅的技术，利用微米光栅和SEM云纹法实现了聚合物基底上康铜薄膜导线通电失效后的全场残余变形量化分析，通过扫描电镜观察了通电失效后康铜线表面的形貌变化。

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来源
《北京力学会第18届学术年会》|2012年|295-296|共2页
会议地点北京
作者
李艳杰; 谢惠民; 徐曼琼; 王庆华;
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作者单位

北京力学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类其他;
关键词
残余应力; 变形机理; 量化分析; 金属薄膜;

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