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超声辅助化学机械抛光流场的CFD仿真研究

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利用FLUENT非稳态动网格湍流和离散相模型并结合mixture的空化模块,CFD仿真分析超声振动以及不同频率、膜厚对流场绝对压力、速度分布、气含率的影响规律.结果表明:超声振动空化作用使试件表面产生极强的周期性正压冲击作用,中间区域为主要空化区域,边缘产生流体和磨粒的“冲刷”作用,有助于提高材料去除率;选取合适的频率、振幅和膜厚有助于提升流场抛光工艺参数.

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来源
《第十九届中国磨粒技术学术会议》|2017年|32-33|共2页
会议地点哈尔滨
作者
翟文杰; 常敬忠;
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作者单位

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类金属电抛光及化学抛光;
关键词
化学机械抛光; 超声振动; 空化区域; 材料去除率;

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