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表面结构化抛光轮加工试验研究

摘要

在采用子口径方法抛光中小口径的高次非球面时,抛光工具是对加工质量非常重要的一个因素.本文采用了一种轮式抛光工具来进行非球面的抛光,可以获得一种近似高斯分布的去除函数.同时,抛光工具表面有规则排布的结构,用于保证工具稳定的材料去除效率.使用结构化表面的抛光工具进行了多光谱硫化锌材料的抛光加工试验,研究了表面结构对材料去除效率的影响.

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