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高纯石英质量的ICP检测技术初步研究

摘要

高纯石英(high-purity quartz)是晶硅、石英玻璃和集成电路基板材料等生产的重要原料,在新能源和新材料等战略性新兴产业具有重要的地位和作用。对于微量化学成分的检测,通常采用电感耦合等离子体发射光谱法(ICP-OES)。本工作以自主研制成功的4N高纯石英为实验样品,系统研究了相关因素对ICP检测效果的影响,以总结高纯石英质量的ICP检测分析方法。

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