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一种新颖的酯缩醛聚合物及其组成的化学增幅型i-线正性光致抗蚀剂

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丙烯海松酸与二乙烯基醚发生加聚反应得到一种新颖的酯缩醛聚合物,其在常用溶剂中具有好的溶解性,数均分了量在3000-6000,分布系数在1.2-2.9,玻璃转化温发在25-90℃之间,热分解温度在200℃以上.该酯缩醛聚合物在室温下具有高的酸解活性,利用该特点,将其与光产酸剂等一起可以组成化学增幅型感光成像材料.该聚合物在230hm以上具有很好的透明性,适用于深紫外、i-线等光刻的抗蚀剂材料.此酯缩醛聚合物和起光产酸剂作用的2,l,4-重氮萘醌磺酸酯可以组成组分化学增幅型i-线光致抗蚀剂,感光成像试验获得了高的感度和分辨率.

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来源
《第十届全国博士生学术年会》|2012年|218|共1页
会议地点济南
作者
Wei Qi; 魏琪; Kong Fanrong; 孔繁荣; Wang Liyuan; 王力元;
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作者单位

中国科协;

国务院学位委员会办公室;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类聚合反应过程;
关键词
酯缩醛聚合物; 加聚反应; 材料性能; 光致抗蚀剂;

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