FIB-SEM三维图像后期处理的关键问题

摘要

FEI Helios 650聚焦离子/电子双束(FIB-SEM)扫描电镜,是一台具有超高分辨率的场发射扫描电镜,适用于泥页岩的精细表征,可以完成孔喉、矿物的精确二维、三维刻画.其独特的二维图像拼接系统可以实现对致密岩石的超大面积超高分辨表征,从而得到有效的统计学规律.文章指出FIB-SEM通过一系列复杂的操作,可以得到连续的二维切片图像。与CT成像不同的是,这些图像并不是同时采集的,而是来自不同时刻的图像数据。因此,对FIB-SEM图像的三维处理比CT图像处理更加复杂,有更多需要特殊对待的关键步骤,这些步骤处理的好坏直接影响三维重构的效果与质量。其中三个主要的注意事项为:角度矫正,位置矫正与亮度矫正。

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