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氧化锌多晶薄膜绒面结构及陷光特性分析

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针对当前薄膜太阳电池对光管理的迫切需求,本文采用磁控溅射及后腐蚀技术制备获得了高性能绒面铝掺杂氧化锌前电极.深入分析了氧化锌多晶薄膜厚度及腐蚀时间对绒面结构及陷光特性的影响.研究结果表明,随多晶薄膜厚度的增加,晶粒尺寸增大,腐蚀后获得的弹坑状表面结构的粒径亦随之增大,绒度增大；随后腐蚀时间的增加,弹坑状粒径及绒度均具有先增大而后趋于饱和的趋势.当沉积氧化锌多晶薄膜初始厚度达2μm时,获得的薄膜电阻率小于3×10-4 Ωcm,经180s 稀盐酸(0.5%)腐蚀后,绒面氧化锌的均方根粗糙度达143 nm,400-1100 nm 平均透过率达81.4%,在500 nm 处绒度为84.3%,750 nm 处绒度可达73.8%,方块电阻小于5 Ω/sq,满足了硅基薄膜叠层电池对前电极的光电性能需求.

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来源
《第12届中国光伏大会暨国际光伏展览会（CPVC12）》|2012年|1-4|共4页
会议地点北京
作者
林小园; 黄茜; 王延峰; 张德坤; 赵颖; 张存善; 张晓丹;
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作者单位

中国可再生能源学会;

中科院;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类特种结构材料;
关键词
绒面掺铝氧化锌; 散射特性; 湿法刻蚀; 绒面结构; 陷光特性; 薄膜太阳电池; 磁控溅射;

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