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亚层厚度对磁控溅射制备CdTe/ZnTe多层薄膜性质的影响

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利用磁控溅射法在室温、Ar 气氛下,制备了相同周期不同亚层厚度的CdTe/ZnTe 多层薄膜,对样品进行了SEM、XRD、透过谱等性能测试.SEM 结果表明所制备的CdTe/ZnTe 多层薄膜的各分层界面比较清晰,且相邻亚层之间无互扩散.XRD 图谱显示在所制备的CdTe/ZnTe多层薄膜中,ZnTe 为非晶相、CdTe 为多晶相,且随着CdTe 亚层厚度的不断减小,所制备的多层薄膜中出现了立方CdTe 向六方CdTe 转变的趋势.透过谱表明所制备的CdTe/ZnTe 多层薄膜的吸收边比较陡峭,且对600~900nm 波长范围内的光有强烈的吸收.

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来源
《第12届中国光伏大会暨国际光伏展览会（CPVC12）》|2012年|1-6|共6页
会议地点北京
作者
胡鹏臣; 黎兵; 冯良恒; 张静全; 武莉莉; 李卫; 杨慧敏; 海波; 肖心举;
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作者单位

中国可再生能源学会;

中科院;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类特种结构材料;
关键词
多层膜; 亚层厚度; 磁控溅射;

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