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铈钇共掺钛酸锶钡薄膜的结构及介电性能

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用改进的溶胶-凝胶法(sol-gel)制备了铈(Ce)钇(Y)共掺Ba0.6Sr0.4TiO3 (BST)薄膜,研究了薄膜的结构和介电性能.扫描电镜(SEM)显示,共掺使薄膜致密、缩孔减少、晶粒大小均匀,随着共掺浓度的增加薄膜表面更平整光滑.原子力显微镜(AFM)表明,共掺薄膜表面致密、晶粒呈球状生长、晶界更明显,随共掺浓度的增加晶粒变小、表面粗糙度减小.V-C曲线表明,相对于铈或钇掺杂,共掺使薄膜的综合介电性能提高,2％Ce和2％Y共掺BST薄膜显示最佳的综合介电性能:零偏压下的电容为7.6× 10-11 F、介电损耗为0.0126,40 V偏压下调谐率为41％,优质因子为32.5,可满足微波调谐器件的需要.

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来源
《第十七届全国高技术陶瓷学术年会》|2012年|96-99|共4页
会议地点南京
作者
Wang Bin; 王滨; Liao Jiaxuan; 廖家轩; Zhang Bao; 张宝; Xu Congyu; 徐从玉;
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作者单位

中国硅酸盐学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类特种结构材料;
关键词
钛酸锶钡薄膜; 铈钇共掺处理; 制备工艺; 介电性能; 掺杂浓度;

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