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低能团簇负离子束研究

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本文在1.7MV串列加速器的注入器中建立了团簇离子束注入装置,在磁分析器内部安装静电扫描器,用改进的法拉第杯作为注入靶室,用铯溅射负离子源产生碳团簇(C1-C10)离子束,进行能量为0.6-20keV/atom的低能离子注入,辅以热退火、淬火处理,成功地制备了几个原子层厚度的graphene样品,为制备单层或者双层石墨烯创造了条件.

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来源
《2012全国荷电粒子源、粒子束学术会议》|2012年|93-97|共5页
会议地点成都
作者
Zhang Rui; 张瑞; Zhang Zaodi; 王泽松; Wang Zesong; 张早娣; Wang Shixu; 王世旭; Fu Dejun; 付德君;
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作者单位

中国电工技术学会;

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TL511:TL503.3;
关键词
串列加速器; 离子注入; 团簇; 淬火处理;

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