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基于帝国主义竞争算法的半导体生产线光刻区调度

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半导体生产线是目前世界上公认的最复杂的制造系统之一,光刻区是半导体生产线中的瓶颈区域和调度中心.基于帝国主义竞争算法(ICA)的调度是将ICA算法与调度规则相结合,通过合理的编码来寻找一组光刻区设备调度规则,用于解决半导体生产线的调度问题.和单一的调度规则不同,这种方法充分考虑了不同工作站的加工特点,进而选择合适的调度规则.使用具有半导体生产线本质特征的简化模型,将ICA算法与单一调度规则进行了比较,结果表明,这种方法对于产品平均加工周期生产指标有明显改善.

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来源
《2012年第二届全国现代制造集成技术学术会议》|2012年|1-7|共7页
会议地点武汉
作者
ZHNG Jie; 张洁; ZHANG Peng; 张朋;
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作者单位

计算机集成制造系统编辑部;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类光刻、掩膜;
关键词
半导体制造; 生产线; 光刻区; 生产调度; 帝国主义竞争算法;

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