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大气环境中基于扫描隧道显微镜的纳米尺度放电加工技术的基础研究

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纳米/微米尺度的金属和非金属材料加工需求不断提高,对于微纳米尺度的加工方法提出了更高的要求.但普通的微细电火花和电化学方法受到尺度的限制，很难在工件或样品上加工出100 nm以下的结构或图形.对基于扫描隧道显微镜(STM)的纳米尺度放电加工方法进行了研究,介绍了其方法和原理.通过在石墨样品上施加的偏压加工,调整电压参数,研究其放电特性和纳米尺度的材料蚀除性能.获得了小于100 nm的加工孔径,分析了加工表面的形貌,对基于扫描隧道显微镜进行纳米尺度的放电加工方法的可行性和精度进行了研究.

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来源
《第14届全国特种加工学术会议》|2011年|302-305|共4页
会议地点苏州
作者
杨晔; 赵万生;
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作者单位

中国机械工程学会;

中国模具工业协会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类电加工机床及其加工;
关键词
纳米尺度放电加工; 放电特性; 材料蚀除性能; 扫描隧道显微镜;

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