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PIIID制备DLC-TiAlSICN纳米复合涂层的微结构及摩擦特性

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采用多阴极等离子体注入与沉积装置制备了DLC-TiAlSiCN纳米复合涂层，采用X射线衍射(XRD)、X射线光电予能(XPS)，拉曼光谱(Raman)、透射电子显微镜(TEM)、纳米探针和摩擦实验对制备的涂层的微结构和摩擦特性进行测试，结果表明：所有的DLC-TiAlsiCN涂层具有典型的纳米复合结构，n-TiCN纳米晶镶嵌在a-Si3N4，a-Sic，a-CN a和DLC.rn 的矩阵中，随着涂层中DLC含量的增加，相邻晶粒之间的间距增大.当相邻晶粒之间的间距较小时，DLC-TiAlSiCN涂层具有超高的硬度50Gpa，但摩擦系数较高，DLC含量增加有助于涂层摩擦性能的改善，但涂层的硬度降低。

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来源
《“十二五”堆焊、热喷涂及表面工程技术发展前瞻学术会议》|2011年|200-206|共7页
会议地点贵阳
作者
王浪平; 解志文; 王小峰; 闫久春; 黄磊; 陆洋;
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作者单位

中国机械工程学会;

中国焊接学会;

中国设备管理协会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类真空镀与气相镀法;
关键词
多元等离子体注入; TiAlSicN; 纳米复合涂层; 微结构; 摩擦性能; X射线衍射;

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