双端固支梁MEMS谐振器的建模与仿真

著录项

• 来源
  《中国电子学会电路与系统学会第二十三届年会》|2011年|236-242|共7页
• 会议地点 桂林
• 作者

  Jiang Junwen; 蒋俊文; Bao Jingfu; 鲍景富; Du Yijia; 杜亦佳; 邓成;

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• 作者单位

  中国电子学会;

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• 会议组织
• 正文语种
• 原文格式 PDF
• 中图分类 微波传输控制元件;
• 关键词

  微机电谐振器; 双端固支梁结构; 等效弹性系数; 建模仿真;

• 入库时间 2022-08-17 11:13:30