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首页> 外文会议>19th International conference on adaptive structures and technologies 2008 >A second-order controller for resonance damping and tracking control of nanopositioning systems
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A second-order controller for resonance damping and tracking control of nanopositioning systems

机译：用于纳米定位系统共振阻尼和跟踪控制的二阶控制器

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This paper presents a simple second-order controller that damps the resonance typical of piezoelectric nanopositioners and delivers good tracking performance. This method employs the Integral Resonant Control scheme (IRC) for damping the dominant resonant mode of the piezoelectric nanopositioner and uses an integral controller to achieve tracking performance. As disturbance rejection is a main concern in nanopositioning applications, the control scheme is tested for its disturbance rejection performance. It is seen that the control scheme has good disturbance rejection characteristics deeming it suitable for nanopositioning applications. To test the tracking performance, the system is made to track a 20 Hz triangular input at various integral gains. It is shown that improved tracking performance can be achieved at high gains with only a slight degradation in disturbance rejection performance at high frequencies.
机译：本文提出了一种简单的二阶控制器，该控制器可抑制压电纳米定位器的典型谐振并提供良好的跟踪性能。该方法采用积分谐振控制方案（IRC）来衰减压电纳米定位器的主要谐振模式，并使用积分控制器来实现跟踪性能。由于干扰抑制是纳米定位应用中的主要问题，因此对该控制方案的干扰抑制性能进行了测试。可以看出，该控制方案具有良好的干扰抑制特性，认为它适合于纳米定位应用。为了测试跟踪性能，使系统以各种积分增益跟踪20 Hz的三角输入。结果表明，在高增益下可以获得改善的跟踪性能，而高频干扰抑制性能仅略有下降。

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